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組裝式潔凈室在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用

日期：2020-06-11 08:50 瀏覽次數(shù)：
我們上篇文章講到當(dāng)前的半導(dǎo)體行業(yè)收到美國的管制限制，舉步維艱。說回到半導(dǎo)體與潔凈室之間的關(guān)系，為什么半導(dǎo)體、芯片生產(chǎn)需在潔凈室內(nèi)生產(chǎn)呢？由于半導(dǎo)體工業(yè)所制作的積體電路元件尺寸越來越小，眾多元件集中在一塊小小的晶片之上，因此在生產(chǎn)過程中需要阻斷外界各種污染源，因?yàn)檫@些雜質(zhì)、污染源會造成元件性能的劣化及可靠度降低，導(dǎo)致芯片良率下降，所以在半導(dǎo)體芯片的制作過程中需要在一個(gè)潔凈度管控的環(huán)境之中。
 
那么，潔凈室是如何隔斷污染源，確保半導(dǎo)體的生產(chǎn)環(huán)境是潔凈的呢？下面我們因組裝式潔凈室為例為您具體介紹分析。

 
半導(dǎo)體在生產(chǎn)過程中大的污染源就是從潔凈室外部進(jìn)入潔凈室內(nèi)的人流與物流污染，所以組裝式潔凈室在進(jìn)口處配備了風(fēng)淋室。風(fēng)淋室的作用是去除人員及貨物上的塵埃顆粒、毛屑等污染源，組裝式潔凈室內(nèi)部安裝了FFU風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組，進(jìn)行潔凈新風(fēng)的輸送。這兩大硬件凈化設(shè)備一為組裝式潔凈室阻絕了污染源，二為組裝式潔凈室提供了潔凈空氣，可以說是組裝式潔凈室的主要構(gòu)成。
 
在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)規(guī)程中、機(jī)器的運(yùn)轉(zhuǎn)，人員的走動也會產(chǎn)生或帶動污染物的流轉(zhuǎn)，組裝式潔凈室還要設(shè)計(jì)一定的氣流組織確保被污染的空氣不會向潔凈區(qū)流轉(zhuǎn)。組裝式潔凈室的風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組布置在頂棚，空氣斷面上的流速比較均勻，而使氣流流向單向平行，靠推出的作用將室內(nèi)臟空氣沿整個(gè)斷面排至架空地板或側(cè)墻下部設(shè)的回風(fēng)口再回至循環(huán)風(fēng)機(jī)，這種上送下回或上送下側(cè)回的氣流流型可以使污染空氣快速排出室外而不會交叉污染到組裝式潔凈室內(nèi)其它工作區(qū)域。
 
另外，組裝式潔凈室的智能實(shí)時(shí)監(jiān)測系統(tǒng)與傳統(tǒng)潔凈室相比在潔凈度維護(hù)上面更為簡便智能。組裝式潔凈室內(nèi)安裝的傳感器將檢測數(shù)值直接以數(shù)字形式顯示在智能控制屏上，智能系統(tǒng)控制會判斷塵埃顆粒及溫濕度是否在標(biāo)準(zhǔn)范圍之內(nèi)，超出則會控制FFU、空調(diào)等設(shè)備進(jìn)行自動調(diào)節(jié)，使之恢復(fù)到規(guī)定范圍之內(nèi)。
經(jīng)過以上介紹，相信你已經(jīng)對組裝式潔凈室與半導(dǎo)體行業(yè)的相互關(guān)系有了一定的了解。中國半導(dǎo)體行業(yè)目前正在遭受沖擊，這也從側(cè)面反映了技術(shù)與設(shè)計(jì)的重要性，中國半導(dǎo)體行業(yè)還有很長的路要走。組裝式潔凈室與半導(dǎo)體息息相關(guān)，榮辱與共，未來也將攜手為伍，一起突破前路上的艱難險(xiǎn)阻，臨難不避，贏得未來！
 
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